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罗茨真空泵机组的工作原理如下：
罗茨真空泵机组主要由罗茨泵、前级泵和阀门组成，罗茨泵是一种回转式容积泵，通过一对同步齿轮使一对或多对转子在泵腔内旋转，这些转子在旋转过程中将空间分隔成几个由小逐渐增大的空间，这些空间交替地从进气口和排气口打开和关闭，随着转子的旋转，气体从进气口吸入，然后被压缩并送到排气口，前级泵通常用于提高整个系统的真空度，保证罗茨泵的正常工作，阀门则用于控制气体的进出和调节系统的压力，罗茨真空泵机组具有结构紧凑、运行稳定、抽气量大等优点，广泛应用于各种真空系统。
只是对罗茨真空泵机组工作原理的简要描述，如果您需要更深入的了解，建议查阅相关文献资料或咨询专业人士。